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科威聯股份有限公司
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供应wafer robot
发布时间:2016年01月18日
有 效 期:2016年07月16日
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详细说明
被搬運物 300mm wafer
可搬送重量 2kg以下
臂 旋转 上下
動作範圍 314mm 355° 310mm
平均速度 800mm/sec 200°/sec 350mm/sec
*高速度 1200mm/sec 250°/sec 500mm/sec
分 辨 率 0.01mm 0.0015° 0.001mm
反覆精度 K0.1mm K0.01° K0.01mm
通訊 RS232
電源 三相 AC220V 15A 50/60Hz
乾燥氣壓 4kgf~6kgf 10L/min
真空來源 -50kPa~-80kPa 10L/min
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