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供应wafer robot

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详细说明

    被搬運物 300mm wafer

可搬送重量 2kg以下

臂 旋转 上下

動作範圍 314mm 355° 310mm

平均速度 800mm/sec 200°/sec 350mm/sec

*高速度 1200mm/sec 250°/sec 500mm/sec

分 辨 率 0.01mm 0.0015° 0.001mm

反覆精度 K0.1mm K0.01° K0.01mm

通訊 RS232

電源 三相 AC220V 15A 50/60Hz

乾燥氣壓 4kgf~6kgf 10L/min

真空來源 -50kPa~-80kPa 10L/min

 
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